支持裝備制造自主研發(fā) 提高行業(yè)創(chuàng)新
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科技部副部長馬頌德表示：《若干意見》是黨中央、國務(wù)院審視國際形勢，根據(jù)我國未來國民經(jīng)濟、國防建設(shè)發(fā)展的需求，對裝備制造業(yè)給予高度重視的體現(xiàn)�？萍疾空J真落實《若干意見》，在“十五”科技項目中加大對制造業(yè)裝備的研究開發(fā)支持,積極組織產(chǎn)學研聯(lián)合攻關(guān)，并在國務(wù)院領(lǐng)導下編制《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》中，進一步突出裝備制造業(yè)的自主創(chuàng)新。一些對我國未來國民經(jīng)濟、國防建設(shè)發(fā)展具有基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性的重大裝備的研究開發(fā)被列入《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要》的優(yōu)先發(fā)展主題和國家重大專項。
“十五”期間，通過863計劃、科技攻關(guān)計劃支持了一批國家重點行業(yè)急需的制造業(yè)裝備的開發(fā)，提高了部分行業(yè)制造裝備的自主創(chuàng)新能力。
集成電路裝備獲得突破
科技部、北京市和中電集團等有關(guān)企業(yè)共同投入研發(fā)資金，研制出適合8英寸硅片100nm工藝微電子芯片制造關(guān)鍵設(shè)備、高密度等離子體刻蝕機和大傾角注入機試生產(chǎn)樣機。該樣機在去年已進入生產(chǎn)線進行生產(chǎn)考核，實現(xiàn)了我國高端集成電路核心設(shè)備零的突破。樣機的進一步產(chǎn)業(yè)化將使未來2～3年我國IC制造業(yè)從180/130nm向90nm升級時，有可能使用上國產(chǎn)裝備。
100nm分辨率148nmArF準分子激光步進掃描投影光刻機，是科技部、上海市與上電集團共同投資進行研發(fā)的高難度重大項目。該項目在大規(guī)模產(chǎn)學研聯(lián)合攻關(guān)中，一些難度極高的部件采取國際合作方式，目前正處于分系統(tǒng)驗收、內(nèi)外配套件集成并總裝的階段，有望在今年底完成。
高檔數(shù)控系統(tǒng)取得進展
經(jīng)過“十五”前各類科研項目的支持，我國中檔以下數(shù)控系統(tǒng)的國產(chǎn)化率已超過50%，“十五”期間科技項目支持的重點是高檔數(shù)控系統(tǒng)的研發(fā)。
第一，我國研制并生產(chǎn)了十多臺為東方汽輪機廠開發(fā)的加工60萬千瓦汽輪機、40英寸大型葉片用五軸聯(lián)動大型葉片加工中心，加工精度與加工效率可與進口瑞士同類機床相當。
第二，研制成功大型艦船螺旋槳用重型七軸五聯(lián)動車銑復合加工機床。可實現(xiàn)螺旋槳的一次裝夾多表面的加工。該項目研發(fā)的技術(shù)，還可為發(fā)電裝備的大型葉片、轉(zhuǎn)輪等五軸加工提供共性加工技術(shù)。
第三，面向飛機大型板類件加工的橫梁移動式龍門五軸加工中心廣泛適用于大型模具的生產(chǎn)，尤其適用于航空航天工業(yè)設(shè)備中的有色金屬、輕合金材料及難加工材料如鈦合金、鉻鎳合金的機械加工，是復雜空間曲面零件(如蝸輪、葉片、螺旋槳以及飛行器)加工必須的重要裝備，目前國內(nèi)此類設(shè)備完全依賴進口�！笆濉逼陂g，我國自主研制的橫梁移動式龍門五軸加工中心問世，并獲得了第十屆中國國際裝備制造業(yè)博覽會金獎。
第四，光學非球曲面超精密磨削技術(shù)及設(shè)備研究項目研制成超精密銑磨納米加工設(shè)備。超精密銑磨加工技術(shù)由于涉及尖端武器的制造，發(fā)達國家一直對這項技術(shù)及相應(yīng)產(chǎn)品采取禁運限制，研制的設(shè)備為我國軍工及航空航天工業(yè)所需的光學玻璃非球曲面加工、微晶玻璃、鐵氧體等材料零件提供了加工設(shè)備。
部分能源裝備實現(xiàn)自主研發(fā)
“十五”期間，科技部安排了兆瓦級風電機組研制，自行研制的1兆瓦級變槳距雙饋式變速恒頻和1.2兆瓦無齒輪箱直驅(qū)永磁兩種風力發(fā)電機組于2005年實現(xiàn)并網(wǎng)發(fā)電。目前，1.2兆瓦風電機組已在30萬千瓦風電場項目中中標。這兩種大型變速恒頻風電機組，為我國在2010年實現(xiàn)風力發(fā)電裝機達500萬千瓦提供主力機型。
另外，新型水煤漿氣化技術(shù)經(jīng)過國家科技計劃的連續(xù)支持取得突破。“十五”期間，對我國自主開發(fā)的多噴嘴對置式水煤漿氣化技術(shù)進行了改進，并在兗礦集團建成了1150噸/天新型水煤漿氣化爐工業(yè)示范裝置，實現(xiàn)一次投料成功。該項目打通了整個工藝流程，為煤的潔凈高效利用提供關(guān)鍵技術(shù)、核心技術(shù)。
工程機械技術(shù)競爭力提高
在工程機
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